钛靶块的性能以及用途有哪些？

钛靶块具有密度小，比强高，弹性模量低，换热性能好，屈强比高，耐腐蚀性能强，耐热性和耐低温性好，无毒无磁性等优点，因此被广泛应用于石油，化工，机械，海洋，冶金，环保，医学等领域。

钛靶块的性能以及用途

钛靶块高精密度，高质密度，高纯度，晶粒细小，组织均匀。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常钛靶块为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。